Warum wir unsere Badezimmerlampen einem „Dampftest“ unterziehen Seien wir ehrlich: Badezimmer sind ein Albtraum für Elektronikgeräte. Es gibt dichten...

Einführung Wir hatten nicht vor, einfach nur „noch eine“ Lampe herzustellen. Wir haben diese Mattson RTP-Ersatzlampe entwickelt, damit sie mit den...

Im Produktionsbetrieb ist die Trocknung des Fotolacks der Punkt, an dem der thermische Ablauf für den gesamten Lithografieprozess festgelegt wird....

In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturänderung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists aus, um die Linienbreiten...