Steuerung der thermischen Strahlung und Sicherheitsabstände in Wafer Herdesystemen
Hören Sie auf, Ihre Maschinen zu überhitzen – eine bessere Methode zum Erwärmen von Wafern Bei der Herstellung von Halbleitern besteht das Problem...
Verringerung der Zykluszeiten in Halbleiter Gloveboxes – Infrarotheizung gegenüber Gebläseluft
Verwendung von Infrarotheizern in Ihren Halbleiter-Gloveboxes Falls Sie weiterhin auf die Zirkulation von heißer Luft zur Erhitzung der Werkstücke...
UHP (Ultra High Purity) Heizlampe
Hören Sie auf, auf den Ofen zu warten: Warum UHP-Infrarotlampen wirklich funktionieren
Lange Zeit haben wir einfach akzeptiert, dass das Erhitzen von...
Ofen mit Infrarotheizung für Reinräume
Verhindern Sie Schäden durch Splitter: Wie man die Wafer sauber hält, wenn die Infrarotheizer versagen
In einer Produktionsstätte für...
Infrarotheizelement für Glovebox
Warum wir auf die Verwendung von Gebläseluft zugunsten von Infrarotheizung in Halbleiter-Gloveboxes verzichten
Wer schon einmal mit der Bearbeitung...
Sicherheitsabstand bei der Wafervertärkung
Die richtige Entfernung bei der IR-Heizung von Wafern
Bei der Herstellung von Halbleitern werden Kurzwellen-IR-Lampen verwendet, um die Wafers auf...
Energieeffizientes Halbleiterheizen
Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen!
Wenn Sie schon einmal mit Halbleiterwerkzeugen gearbeitet haben, kennen Sie sicherlich das Problem...
Heizgerät für das Sputtern von Halbleitern
In der Fertigungsstätte sind thermische Abweichungen nicht nur störend – sie führen auch zu Problemen bei der Herstellung der Schichten auf dem...
Infrarotheizer für die Reparatur von Fertigungsgeräten
In der Fertigungshalle gehört die Reparatur von Werkzeugen nicht zum regulären Ablauf – es handelt sich dabei um eine Notfallsituation. Wenn eine...
TEL (Tokyo Electron) Heizlampen
Auf der Lithografie-Ebene wissen Sie, wie es läuft. Ein Soft-Bake, der auch nur um einen Bruchteil eines Grades abweicht, zeigt sich als...
TSV (Through Silicon Via) Heizer
Out auf der 300mm-Linie bricht das TSV-Stacking sofort zusammen, sobald die thermische Gleichmäßigkeit zu schwanken beginnt. Bereits eine Abweichung...