Verhindern Sie Schäden durch Splitter: Wie man die Wafer sauber hält, wenn die Infrarotheizer versagen
In einer Produktionsstätte für Halbleiterkomponenten ist ein defekter Infrarotstrahler weit mehr als nur ein „Wartungsproblem“ – es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario. Wenn eine Quarztube platzt, werden die Oberflächen der Wafer mit kleinen Glas- und Metallsplittern bedeckt. Dadurch sind die Wafer unbrauchbar. Wir haben viel Zeit damit verbracht, Möglichkeiten zu finden, um das zu verhindern.
Die Sicherheitsmaßnahmen
Wir verlassen uns nicht nur darauf, dass die Quarztube stabil bleibt. Stattdessen umhüllen wir den Heizer mit einer zusätzlichen Schutzschicht. Stellen Sie sich das wie einen Schutzschirm aus hochreinem Quarz vor. Wenn das Innere des Heizers unter Druck zerbricht oder beschädigt wird, fängt die Schutzschicht alle Splitter auf. So bleibt das Vakuum sauber, die Luft rein – und Sie müssen nicht drei Tage lang den Raum reinigen.
Umgang mit der Hitze
Hochleistungs-Lampen werden extrem heiß. Wenn das Glas zu stark belastet wird, bricht es. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir Quarz mit dicken Wänden. Dieser kann die schnellen Temperaturschwankungen aushalten, ohne zu deformieren. Wir achten auch sehr auf die elektrischen Anschlüsse. Warum? Denn lose Anschlüsse führen zu heißen Stellen. Diese wiederum verursachen Überspannungen, die dazu führen können, dass die Lampen vorzeitig explodieren. Es handelt sich dabei um ein kleines Detail – doch es macht den Unterschied zwischen einer Lampe, die lange hält, und einer, die explodiert.
Der Preis für den Schutz
Nun kommt der Haken: Die zusätzliche Schutzschicht blockiert einen kleinen Teil des Infrarotlichts. Im Vergleich zu einer einfachen Lampe geht somit etwas Energie verloren. Vielleicht müssen Sie die Einschaltzeit anpassen oder die Leistung erhöhen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Aber ehrlich gesagt: Das ist ein geringer Preis, um ganze Chargen von Wafern zu retten.
Aufrechterhaltung der Funktionstüchtigkeit
Bei der Installation verwenden wir standardisierte Anschlüsse, damit alles fest sitzt. Eine locker sitzende Lampe vibriert bei hoher Belastung – und diese mechanische Belastung kann zum Versagen der Lampe führen. Noch ein Tipp: Bei der Austausch der Lampen sollten Sie auch auf die Kühlventilatoren achten. Wenn die Luftzufuhr nicht ausreicht, überhitzen die Enden der Lampen und platzen. Sorgen Sie dafür, dass die Luft zirkuliert – dann halten die Quarzlampen länger.