Auf dem Lithografieboden kann man es sich nicht leisten, dass es zu Schwankungen kommt. Selbst eine Abweichung von nur einem halben Grad führt dazu, dass das Profil des Fotolacks verändert wird – plötzlich muss man darum kämpfen, die Kontrolle über den Prozess zu behalten. Wenn die Erhitzung ungleichmäßig erfolgt, entstehen Ränder oder Schäden – oder schlimmer noch: Es kommt zu einer schlechteren Haftung des Fotolacks, was erst zu spät bemerkt wird und dann schwer zu beheben ist. Was man braucht, ist eine Heizung, die schnell Wärme abgibt, diese genau dort ablegt, wo sie benötigt wird – und das im Laufe mehrerer Durchgänge.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben die IR-Lampe für die Aushärtung des Fotolacks so konzipiert, dass sie kurzwelliges NIR-Licht verwendet. Dadurch erhitzt sich der Fotolack schnell und gleichmäßig. In der Erhitzungszone bleibt die Homogenität auf einem Niveau von ±0,1°C – die Wiederholbarkeit wird durch ein streng kontrolliertes thermisches System gewährleistet. Das System funktioniert in Reinräumen der Klasse 1–100, ohne dass Partikel entstehen. Zudem ist seine Konstruktion so angepasst, dass sie zu den Anforderungen der gängigen Halbleiterwerkzeuge passt. Wir geben die Leistungsausbeute, die Aufwärmzeit sowie die Stabilität an – schließlich muss der Erhitzungsvorgang eine präzise, deterministische Prozedur sein – und keine weitere Variable, mit der man kämpfen muss.
Warum es in der Produktion funktioniert
Man kann die Vorteile messen: Sowohl die sanfte als auch die intensive Erhitzung erreichen das Ziel innerhalb von Sekunden. Dadurch sinken die Schwankungen zwischen den Chargen, und der Prozess wird stabiler. Eine bessere Temperaturkontrolle bedeutet weniger Schäden am Fotolack, eine bessere Haftung sowie weniger Nacharbeiten. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe nur dann Wärme abgibt, wenn sie benötigt wird – anstatt ständig heiß zu bleiben. Zudem ist die Lampe für einen 24/7-Betrieb geeignet – Felddaten zeigen, dass sie auch bei langen Betriebszeiten zu minimalen Stillständen führt.
Worauf man vorher achten muss
Bei der Installation muss man darauf achten, dass die elektrischen und mechanischen Anschlüsse der Lampe mit denen des Werkzeugs übereinstimmen. Danach müssen die Temperaturregelungen an die Eigenschaften des Fotolacks sowie des Substrats angepasst werden. Die Lampe funktioniert am besten, wenn die Erhitzungskammer gut abgedichtet ist – jede Störung im Luftstrom führt zu lokalen Ungleichmäßigkeiten. Es sollte zunächst eine gründliche Qualifikation durchgeführt werden, um das Profil der Erhitzung festzulegen. Sobald das erledigt ist, läuft der Prozess mit der nötigen Konstanz – genau das, was in einer Fabrik benötigt wird.