Verhindern von Verunreinigungen der Wafer – noch bevor es dazu kommt In der Welt der Halbleiterfertigung ist ein defekter Lampenstrahler mehr als nur...

Die richtige Temperatur für Bio-Sensoren einstellen Beim Bau von Bio-Sensoren geht es um das genaue Steuern der Temperatur – schließlich handelt es...

Mehr Wärme genau dort, wo sie gebraucht wird Wenn man Bio-Sensoren auf einer Waferplatte herstellt, muss die Wärme genau auf die Oberfläche abgegeben...

Ihre Reinräume sauber halten – mit Infrarot-Trocknung Wenn man in einer Halbleiterfabrik arbeitet, ist „Reinheit“ nicht nur ein Ziel – sie ist...

Lassen Sie uns über Ihre Anlage zur Behandlung der Wafer sprechen. Hier ist ein Geheimnis, das die meisten Leute übersehen: Die Lampe allein reicht...

Wie man seine mit Gold überzogenen Infrarotlampen vor Defekten schützt – und so die Wafer rettet Wenn man in einer Halbleiterfertigungsstätte...

Hören Sie auf, auf Luftströmungen zu warten – warum goldbeschichtete Infrarotlampen die bessere Lösung sind Falls Sie immer noch auf Luftströmungen...

Warum wir uns so sehr auf die Prüfung der Dämmung von Quarzschutzschirmen konzentrieren Die meisten Menschen betrachten die Quarzglasschirme in den...

Einführung Wir hatten nicht vor, einfach nur „noch eine“ Lampe herzustellen. Wir haben diese Mattson RTP-Ersatzlampe entwickelt, damit sie mit den...

Im Produktionsbetrieb ist die Trocknung des Fotolacks der Punkt, an dem der thermische Ablauf für den gesamten Lithografieprozess festgelegt wird....

Auf dem Lithografieboden kann man es sich nicht leisten, dass es zu Schwankungen kommt. Selbst eine Abweichung von nur einem halben Grad führt dazu,...

Auf der Lithografie-Ebene wissen Sie, wie es läuft. Ein Soft-Bake, der auch nur um einen Bruchteil eines Grades abweicht, zeigt sich als...

Auf der Lithografiestation ist das Backen des Photoresists nicht nur ein thermischer, sondern auch ein dimensionsbestimmender Schritt. Eine...