Einführung Wir hatten nicht vor, einfach nur „noch eine“ Lampe herzustellen. Wir haben diese Mattson RTP-Ersatzlampe entwickelt, damit sie mit den...

Präzise Halogenheizer: Das Geheimnis für eine Stabilität von 0,1 °C in Waferfabriken Wir haben diese Halogenheizer für die reale Industrieanwendung...

Im Produktionsbetrieb ist die Trocknung des Fotolacks der Punkt, an dem der thermische Ablauf für den gesamten Lithografieprozess festgelegt wird....

In der Fertigungsstätte sind thermische Abweichungen nicht nur störend – sie führen auch zu Problemen bei der Herstellung der Schichten auf dem...

Auf der Produktionsfläche reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad bei der Temperaturregulierung aus, um die Kontrolle über die...

Auf dem Lithografieboden kann man es sich nicht leisten, dass es zu Schwankungen kommt. Selbst eine Abweichung von nur einem halben Grad führt dazu,...

In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturänderung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists aus, um die Linienbreiten...

In der Fertigungshalle gehört die Reparatur von Werkzeugen nicht zum regulären Ablauf – es handelt sich dabei um eine Notfallsituation. Wenn eine...

Auf der Lithografie-Ebene wissen Sie, wie es läuft. Ein Soft-Bake, der auch nur um einen Bruchteil eines Grades abweicht, zeigt sich als...

Out auf der 300mm-Linie bricht das TSV-Stacking sofort zusammen, sobald die thermische Gleichmäßigkeit zu schwanken beginnt. Bereits eine Abweichung...

Auf der Lithografiestation ist das Backen des Photoresists nicht nur ein thermischer, sondern auch ein dimensionsbestimmender Schritt. Eine...