Verwendung von Infrarotheizern in Ihren Halbleiter-Gloveboxes Falls Sie weiterhin auf die Zirkulation von heißer Luft zur Erhitzung der Werkstücke angewiesen sind, kennen Sie die Probleme damit. Man schaltet die Heizung ein – und dann muss man warten. Im Grunde genommen wird dabei jeder Kubikzentimeter des Gases in der Glovebox erhitzt, nur um das Werkstück auf die richtige Temperatur zu bringen. Das ist langsam und unpraktisch. Deshalb ändert die Verwendung von Infrarot-Elementen alles. Anstatt mit der Luft zu kämpfen, strahlen die Infrarot-Elemente Energie direkt auf das Werkstück ab. Hören Sie auf, Zeit mit dem Aufwärmen zu verschwenden Luft ist ein schlechter Wärmeleiter. Wenn man Lüfter verwendet, verbringt man viel Zeit damit, die Wände der Kammer sowie die Atmosphäre im Inneren der Kammer zu erhitzen, bevor überhaupt mit der Arbeit begonnen werden kann. Das ist eine enorme Zeitverschwendung. Infrarotheizer lösen dieses Problem. Der Wärmestrom tritt fast sofort ein. Für diejenigen von uns, die präzise Halbleiterarbeiten durchführen, ist das ein großer Vorteil. Die Bearbeitungszyklen werden kürzer – außerdem entstehen keine Staubpartikel oder Verunreinigungen durch die Zirkulation der Luft in der Kammer. Die schwierigen Aspekte – und wie man sie bewältigt Wir entwickeln diese Infrarot-Elemente so, dass sie in den beengten Räumen der Gloveboxes Platz finden können. Durch den Einsatz von Kurzwellen- oder Mittelwellenemittoren kann man die Wärme gezielt auf das Wafer richten, ohne dass der Rest der Kammer ebenfalls erhitzt wird. Aber Achtung: Man kann die Elemente nicht einfach anschließen und dann weggehen. Infrarot-Elemente reagieren viel schneller als herkömmliche Widerstandsspulen. Wenn die PID-Schleifen nicht richtig eingestellt sind, wird die Zieltemperatur schnell überschritten. Außerdem kann es zu Hotspots kommen, wenn zu viele Watt in einen Punkt geleitet werden. Man muss also den richtigen Balancepunkt zwischen Leistung und Entfernung zum Werkstück finden, damit alles gleichmäßig erwärmt wird. Praktische Anwendung in der Realität Das Ersetzen eines Konvektionssystems ist keine einfache Angelegenheit. Bei Infrarotheizern ist eine klare Sichtlinie notwendig. Wenn etwas den Weg blockiert, erreicht die Wärme das Werkstück nicht. Um dies zu lösen, empfehlen wir in der Regel den Einsatz von Spiegeln oder Mehrfachansätzen. Dadurch werden Schatten vermieden und die Wärme kann von allen Seiten auf das Werkstück wirken. Ein letzter Tipp: Überprüfen Sie die Kühlung. Auch wenn die Luft im Inneren der Kammer kühler bleibt, wird die Heizgehäuse selbst stark belastet. Sie benötigen daher eine effektive Kühlung, um zu verhindern, dass die Hardware beschädigt wird.