In der Fertigungsstätte sind thermische Abweichungen nicht nur störend – sie führen auch zu Problemen bei der Herstellung der Schichten auf dem Wafer. Eine Spritzgaskammer, die auch nur minimal von der Zieltemperatur abweicht, verursacht Spannungen in der Schicht sowie Uneinheiten in ihrer Dicke. Das wiederum hat Auswirkungen auf die Lithografie- und Ätzungsvorgänge. Wir haben unsere Infrarotheizgeräte so konstruiert, dass diese Unwäschkeiten beseitigt werden – die Stabilität der Schichtentstehung wird somit direkt an der Waferoberfläche gewährleistet.
Unser kurzwelliges Infrarotdesign liefert schnelle, direkte Wärmeübertragung an den Wafer und hält die Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C. Die Geometrie des Quarzkollektors sowie die geschlossene Regelung sorgen dafür, dass die Temperatur genau kontrolliert wird – somit entsteht keine Überhitzung. Bei der Verarbeitung des Fotoleisters ermöglicht dieses Infrarotdesign eine zuverlässige Entfernung des Lösungsmittels sowie eine saubere, konstante Aushärtung der Schicht. Dadurch werden weniger Fehler beim späteren Lesvorgang verursacht.
Das Gerät ist von vornherein für den Einsatz in Reinräumen geeignet. Der Heizelementkörper arbeitet ohne Partikel in Klassen 1–100. Zudem sorgen die materialbedingten geringen Gasemissionen dafür, dass während langer Spritzgasprozesse keine Kontaminationen entstehen. Keine Partikelbildung an den Rändern des Wafers bedeutet weniger Ausschuss sowie weniger Wartungsarbeiten. Dadurch erhalten Sie stabile Produktionszeiten, weniger Energieverbrauch pro Wafer sowie Schichteigenschaften, die von Charge zu Charge konstant bleiben.
Die Installation ist auf den meisten Spritzgasplattformen einfach möglich. Allerdings erfordert die kompakte Bauweise, dass genügend Platz um Schutzvorrichtungen und andere Komponenten vorhanden ist. Planen Sie die Integration frühzeitig – passen Sie die Befestigungsoberflächen an und überprüfen Sie vor dem Umstieg auf eine andere Produktionslinie den Freiraum für die optischen Kanäle. Sobald das Gerät installiert ist, arbeitet es 24/7 mit minimalem Temperaturabfall. Die Reproduzierbarkeit, die im Datenblatt angegeben ist, zeigt sich auch in der Praxis – die Ergebnisse bleiben von Charge zu Charge konstant.