Wie man einen Reinraum der Klasse 100 tatsächlich sauber hält
Wenn man Dinge in einer Vakuumkammer in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzt, kann man sich keinen einzigen Fehler leisten. Schon ein kleiner Staubkorn oder ein unerwünschter Chemikaliengas kann dazu führen, dass die gesamte Charge an Wafern unbrauchbar wird. Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich nicht dafür. Sie geben Bindemittel ab oder oxidieren – das bedeutet im Grunde, dass sie Schadstoffe direkt auf das Substrat bringen. Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen mit Infrarotstrahlung. Der Kampf gegen „Kondenswasser“ Bei Glas gilt: Im Vakuum neigen Unreinheiten dazu, an die Oberfläche zu wandern und dort zu verdampfen. Wenn das Quartz nicht von erstklassiger Qualität ist, entsteht eine trübe Schicht auf dem Werkstück. Wir verwenden daher geschmolzenes Silizium mit hohem Hydroxidgehalt. Das klingt technisch, aber es bedeutet im Grunde, dass die Lampe auch bei intensiven Temperaturschwankungen nicht zerfällt oder Schadstoffe abgibt. So bleibt das Werkstück sauber. Punkt. Umgehen mit der Hitze Vakuumumgebungen sind schwierig, weil es kein Luftstrom gibt, der die Wärme transportieren könnte. Alles geschieht durch Strahlung. Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie Kurzwellen-Infrarotstrahlung abgeben. Dadurch dringt die Wärme tiefer in die Materialien ein – man muss also nicht warten, bis die Materialien warm werden. Es geht also schnell. Aber es gibt einen Haken: Da die Lampe die Wärme nicht in die Luft abgeben kann, werden ihre Enden extrem heiß. Wenn die wassergekühlten Anschlüsse nicht richtig eingestellt sind, können die Dichtungen schmelzen und es kommt zu Lecks. Das muss unbedingt vor dem Einschalten überprüft werden. Die kleinen Details Wir legen großen Wert auf die Konstruktion der Lampen. Kein billiges Plastik, keine Klebstoffe. Wir schweißen die Anschlüsse der Lampen mit hochreinen Metallen – dadurch bleiben keine Rückstände zurück. Auch die Passgenauigkeit muss perfekt sein. Wir stellen sicher, dass es keine Spielräume gibt – denn Vibrationen können wiederum zu Partikeln führen, die man eigentlich vermeiden möchte. So erhalten Sie die benötigte Wärmestärke, um die Produktion aufrechtzuerhalten, ohne sich Sorgen um einen Rückgang der Produktivität machen zu müssen. Denken Sie daran: Je höher die Leistung der Lampe ist, desto mehr muss das Kühlsystem arbeiten, um zu verhindern, dass der Rest der Kammer überhitzt.