Hören Sie auf, Ihre Maschinen zu überhitzen – eine bessere Methode zum Erwärmen von Wafern Bei der Herstellung von Halbleitern besteht das Problem darin, dass die Wafer erwärmt werden müssen – doch man möchte dabei nicht, dass die restliche teure Ausrüstung geschädigt wird. Die meisten Standardheizer geben die Wärme in alle Richtungen ab. Das ist chaotisch: Die „Überhitzung“ dringt in die Wände der Kammer ein, wodurch die Ausrüstung gefährlich heiß wird – und noch schlimmer: Die empfindlichen Teile innerhalb der Kammer können beschädigt werden. Das ist nicht ideal.
Der Trick bei der gezielten Erwärmung Wir nutzen dazu Kurzwellen-Infrarotlampen. Anstatt die Wärme überall hin zu streuen, richten diese Lampen die Energie direkt auf den Wafer. Dazu verwenden wir spezielle Reflektoren sowie intelligente Beschichtungen auf der Quarzkapsel. Dadurch wird der Winkel eingegrenzt – die Energie trifft genau auf den Zielort und bleibt dort. Dadurch wird verhindert, dass die Wärme in das Gehäuse strömt. So bleibt Ihre Ausrüstung sicher.
Die richtige Entfernung finden Man kann die Infrarotlampe natürlich nicht direkt neben den Wafer platzieren.否则 entstehen lokale Hotspots – im schlimmsten Fall verbrennt sogar die Oberfläche des Wafers. Es geht also um die richtige Entfernung. Wenn die Lampe zu nah ist, ist die Wärmeverteilung ungleichmäßig. Ist sie zu weit entfernt, wird nur Energie verschwendet, indem die Luft um den Wafer erhitzt wird. Wir müssen oft abwägen, wie schnell die Temperatur ansteigen soll und wie gleichmäßig die Wärmeverteilung sein muss.
Achtung: Höherer Wattbedarf bedeutet mehr Kühlung Wenn man den Leistungsgrad erhöht, um den Prozess zu beschleunigen, muss man die Entfernung zwischen Lampe und Wafer erhöhen – oder die Kühlung der Kammerwände verbessern.
Kompromisse Nichts ist kostenlos. Zwar schont die gezielte Erwärmung die Kammerwände, doch dadurch wird der innere Faden der Lampe stark belastet. Da die Energie sehr gebündelt wird, wird die Lampe selbst viel heißer. Man muss auf die Verkabelung achten – die Stecker müssen die erforderliche Stromstärke aushalten. Andernfalls können die Anschlüsse schmelzen. Und vor allem: Achten Sie auf die Kühllüfter. Wenn diese versagen, kann die konzentrierte Wärme das Gehäuse der Lampe schneller zerstören, als man reagieren kann.