Die richtige Wärmezufuhr – Das Geheimnis für eine bessere Aushärtung von Halbleiterwafern Beim Aushärten von Halbleiterwafern ist das Ziel einfach: Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird – ohne dass der Untergrund beschädigt wird. Wir nutzen dazu Infrarotstrahlung. Warum? Weil sie sauber ist – es gibt keine Lösungsmittel, keine Verbrennung, und sie entspricht den umweltfreundlichen, bleifreien Standards, nach denen alle streben. Doch hier liegt das Problem: Die Lampe erhält all die Anerkennung, während der Reflektor die eigentliche Arbeit übernimmt. Vermeiden Sie Energieverschwendung Stellen Sie sich eine Infrarotlampe vor: Sie strahlt Energie in alle Richtungen ab. Wenn man sie so lässt, trifft die Hälfte dieser Wärme auf den Gehäusedeckel der Maschine und geht dort verloren. Das ist einfach nur Geld- und Energieverschwendung. Deshalb verwenden wir Reflektoren aus hochreinem Aluminium oder versilbertem Metall. Diese fangen die abgeleitete Energie auf und lenken sie zurück auf die Wafer. Dadurch wird die Wärmeintensität erheblich erhöht. So lässt sich die Aushärtungszeit verkürzen, und die Stromkosten bleiben niedrig. Einfach so. Die richtige Wahl des Materials Je nach Wellenlänge wählen wir in der Regel anodisiertes Aluminium oder poliertes Edelstahl. Wenn man Kurzwell-Infrarotstrahlung verwendet, braucht man eine Oberfläche, die fast alles reflektiert. Wenn das Material nicht geeignet ist, nimmt der Reflektor selbst die Wärme auf. Dann gerät alles aus den Fugen: Das Metall dehnt sich aus, der Fokuspunkt verschiebt sich – plötzlich entstehen „heiße Stellen“ auf der Wafer. Im einen Moment wird die Wafer ausgehärtet – im nächsten Moment ist der Chip zerstört. Die kleinen Dinge, die wichtig sind Die Einrichtung dieser Systeme ist eine Art Kunst. Die Ausrichtung zwischen der Lampe und der Krümmung des Reflektors muss perfekt sein. Tatsächlich kann bereits ein Unterschied von 1 mm dazu führen, dass die Effizienz um 10 % sinkt. Außerdem darf man den „Wärmeausdehnungseffekt“ nicht vergessen. Infrarotstrahlung ist zwar sauber, aber intensiv. Wenn das Gehäuse keine Möglichkeit bietet, die Wärme abzuleiten, werden die umliegenden elektronischen Komponenten beschädigt. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem. Wir fertigen diese Reflektoren als Ersatzteile an. Man muss nicht den gesamten Ofen ausbauen oder Wochen damit verbringen, die Anordnung neu zu gestalten. Man tauscht einfach die Reflektoren aus, erreicht seine Energieziele und kann die Produktion fortsetzen.