手套箱红外加热元件
为何我们在半导体手套箱中放弃强制通风方式，转而使用红外线加热技术 如果您有过在密闭空间中进行深度加工的经历，那么您一定明白等待手套箱升温的痛苦。
传统的强制通风方式效率极低——实际上，您是在试图让腔室内的每一分子氩气或氮气都升温，这样才能让工件达到理想的温度。这种做法既慢又浪费能源，实在是一种时间...
用于晶圆的精密红外传感器
在化学溶液中加热晶圆时，如何确保安全？
说实话，让晶圆浸泡在易挥发、易燃的溶剂中并同时对其进行加热，是一件极其危险的任务。哪怕有那么一点点火花或加热元件出现故障，都可能引发爆炸。
因此，我们在密封红外加热灯方面格外小心。
我们是如何进行密封的？ 我们不会简单地用包装材料把灯包起来就万事大吉了。我们...
不锈钢加热器外壳制造
让无铅半导体加工真正可行起来
业界正在努力推行“绿色”和无铅标准。这当然很好，但传统的加热方式——使用大型对流炉——实在麻烦不堪。实际上，只是为了让芯片表面稍微升温一点，就要让整个空间充满热空气。这种方式效率低下，还浪费能源，实在令人恼火。
因此，我们采用了红外线固化技术。这种技术不需要加热空气，...
用于半导体加热器的特氟龙线
如何保持100级洁净室的清洁状态
在半导体制造领域，哪怕只有一粒灰尘，或者一个气体分子，都可能毁掉整批晶圆的制造成果。这真是令人沮丧——明明已经做好了所有准备工作，却因为那么一点微小的杂质而前功尽弃。
很多时候，造成问题的原因在于加热元件。普通的加热器在达到工作温度后，会释放出气体或颗粒物。为了解...
晶圆加热的安全距离
在晶圆红外加热过程中，如何准确控制距离至关重要。在半导体制造中，我们使用短波红外灯来为晶圆加热，而且需要尽快让晶圆达到指定温度。如今，大家都在谈论“绿色工厂”以及实现碳中和的目标。如果这也是你的目标，那么你就必须考虑能源密度的问题。
实际上，关键在于灯与晶圆之间的距离——我们称之为安全距离。如果这...
无臭氧红外灯
为何我们如此重视无臭氧红外灯的绝缘性能测试 如果你在洁净室工作或从事食品包装行业，那你肯定已经知道为什么无臭氧红外灯是最佳选择。因为这类灯具能滤除185纳米波长的光，从而避免工作环境中出现臭氧气体。
不过，问题在于：虽然大家都在谈论光谱的问题，但真正决定灯具性能的关键因素其实是其电气结构。具体来说...
节能型半导体加热器
停止让机器的壁面过热 如果你曾经使用过半导体加工设备，那么一定明白“壁面过热”带来的困扰。你试图加热晶圆或基材，结果却是整个机器内部都变得非常热。这不仅浪费能源，还会让机器的金属外壳变成对操作人员的一种威胁。
问题在于，普通的加热器会将能量向各个方向散发，导致整个机器内部都过度升温，包括那些本不必...
用于光刻机的石英玻璃防护罩
为什么我们如此重视石英屏蔽罩的绝缘性能测试 大多数人只把制造设备中的石英玻璃屏蔽罩视为一种隔热材料而已。但实际上，这些屏蔽罩才是防止高压电流从加热元件直接流入设备机壳的关键所在。
如果屏蔽罩表面有哪怕微小的裂纹或污渍，那问题就大了。一旦发生接地故障，整个生产线就会停止运转；更糟糕的是，控制板可能会...
洁净室设备升级中
停止为空气加热：更高效的工厂运营方式
说实话，半成品生产用的洁净室是非常耗能的。长期以来，我们一直不得不为让几块晶圆达到所需温度而加热整个房间内的空气。这不仅浪费能源，而且实在有些荒谬。
因此，我们开始采用红外线加热技术。与其试图加热整个房间里的空气，不如将热量直接施加在需要加热的物体上——也就是...
无尘室红外加热器
停止与“高温壁”问题作斗争 如果你曾经为半导体设备设计过加热系统，那么你一定知道那有多棘手。实际上，让晶圆达到所需温度并非难事——那才是最简单的部分。真正的难题在于如何防止整个机器变成一个“烤箱”。
传统的对流式加热器效率低下，它们会将热量散布到各个方向。很快，昂贵的设备内壁就会被烤焦，操作人员也...
用于冲洗的防水红外灯
为何在半导体干燥过程中放弃热风，转而使用红外线技术？
如果你曾在芯片制造厂工作过，那一定知道冲洗后的干燥过程有多麻烦。长期以来，我们一直依赖热风循环来干燥芯片。但说实话，这种方法的效率实在很低——因为热量需要通过空气来传递，这个过程非常缓慢，还会浪费大量时间。
正因如此，我们转而使用红外线技术。红...
与真空环境相容的红外加热器
在洁净室中减少碳排放：为何真空红外加热法如此有效
说实话，半导体制造过程非常耗能。为了防止材料氧化或受到污染，必须要在真空环境中进行操作，而这无疑给温度控制带来了巨大挑战。
大多数人采用电阻式加热方式。但问题在于，为了将晶圆加热到所需温度，不得不对整个腔体进行加热。这就好比为了加热一片披萨而把家里...
红外发射器的陶瓷端帽
简介 我们直接进入主题吧。在半导体生产线上，时间就是金钱。等待那些笨重的热风系统启动，只会浪费大量资金。因此，我们设计出了另一种解决方案：陶瓷端盖式红外线发射器。它是一种高效、高强度的热源，能够快速完成干燥、固化等处理任务。无需再等待空气变热，只需在需要时立即获得高效的加热效果即可。
核心特点 这...
用于半导体加热器的热电偶
危险化学物质清洗过程中的工程安全保障 我们为工厂中最恶劣的工作环境设计了红外加热灯——那些需要与易燃的清洗剂共同工作的半导体加热器。普通的加热元件根本无法满足这样的需求。问题在于：如何在不引发火花的情况下输出足够的热量呢？
我们的解决方案是采用专用的封装系统，该系统能在热量与周围环境之间形成一道屏...