IR lambalarının waferlerinizi mahvetmesini engelleyin
Eğer yüksek kapasiteli bir wafer üretim hattı kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar kötü olduğunu biliyorsunuzdur. Bir IR lambası patladığında, sadece üretimin durması değil, aynı zamanda büyük bir karmaşa da oluşur. Kuvars tüpü patladığında, cam parçaları ve tungsten filamenti silikon üzerine düşer. Böylece tüm üretim miktarı boşa gider.
Bu tür durumların yaşanmamasını sağlamak için kontrol cihazlarımızı ve lamba yapılarını özel olarak tasarladık.
Termal stresle başa çıkma
Çoğu lamba, termal şok nedeniyle arızalanır. Ani sıcaklık değişikliklerine dayanamazlar. Bu yüzden basit açma/kapama düğmeleri kullanmıyoruz. Dijital kontrol cihazlarımız, sıcaklığın yavaşça artmasını ve azalmasını sağlar. Gücü ayarlayarak kuvarsin çok hızlı genişlemesini ve baskı altında kırılmasını engelliyoruz.
Yüksek saflıkta füzyon kuvarsı kullanıyoruz; çünkü bu malzeme ısıya daha iyi dayanır. Ancak fizik kuralları geçerlidir. Eğer 2000W’lık güç kısa bir tüpten geçerse, tüpün uçları aşırı ısınır. Bunu önlemek için stresi dağıtmak amacıyla güçlendirilmiş uç kapakları kullanıyoruz.
Temizliği sağlama
“İkincil kirlilikleri” veya her türlü enkazı engellemek için lamba ile wafer arasına fiziksel bir bariyer yerleştiriyoruz. Her şeyi kuvars veya paslanmaz çelikten yapılmış koruyucu kılıflar içinde tutuyoruz. Lamba patladığında, bu kılıflar cam parçalarını engeller ve wafer zarar görmez. Ayrıca, güvenlik amaçlı bir izleme sistemi de var. Kontrol cihazı lambanın direncini gerçek zamanlı olarak takip eder. Eğer ani bir artış veya düşüş tespit edilirse – bu genellikle bir filamanın koptuğunu gösterir – sistem o bölgeye olan gücü hemen keser. Böylece diğer lambaların da arızalanması engellenmiş olur.
Tercih meselesi
Ancak bu koruyucu kılıfların kullanılması IR ışığının bir kısmının geçmesini engeller. Kurutma işlemlerinin düzgün devam etmesi için güç ayarlarını biraz yükseltmeniz gerekebilir. Ama dürüst olmak gerekirse bu küçük bir bedeldir. Bir ampulün patlaması yüzünden 100.000 dolarlık waferlerin zarar görmesinden iyidir.