Neden yarı iletkenlerin kurutulmasında sıcak hava yerine kızılötesi ışınlar kullanıyoruz?
Eğer bir üretim tesisinde zaman geçirdiyseniz, yıkama sonrası kurutma sürecinin ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Uzun süre boyunca sadece sıcak hava dolaşımına güvendik. Ama dürüst olmak gerekirse bu yöntem oldukça yavaştır. Aslında havanın ısıyı yaymasını beklemek gerekiyor; bu da çok uzun sürüyor ve zaman kaybına neden oluyor.
İşte bu yüzden kızılötesi ışınları kullanmaya başladık. Havanın işi yapmasını beklemek yerine, kızılötesi ışınlar doğrudan wafer yüzeyine etki ediyor. Bu tamamen farklı bir yöntemdir.
Zaman kazanmak
Sıcak hava sistemleri oldukça hacimli olup, temiz oda alanını çok fazla kaplar. Ayrıca, suyun tamamen gitmesini sağlamak için waferlerin uzun süre orada kalması gerekir; bu da yüzeyde istenmeyen izlerin oluşmasına neden olur.
Biz ise bu bekleme süresini ortadan kaldırmak için suya dayanıklı kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Enerji doğrudan sıvının içinden geçerek substratı anında ısıtır. Böylece dakikalar süren kurutma işlemi saniyelere indirgenmiş olur. Saatte işlenebilen wafer sayısı artar ve daha fazla ekipman için duvarları yıkmaya gerek kalmaz.
Islak ortamlara uygun yapı
Ancak burada bir sorun var: Standart kızılötesi lambalar suyu sevmez. Yüksek nemli ortamlarda veya biraz su püskürtüldüğünde bu lambalar bozulur.
Bunu önlemek için özel kuvars kaplamalar ve suya dayanıklı contalar kullanıyoruz. Bu lambalar sürekli nem ve termal şoklara karşı dayanıklıdır. Doğrudan ısı aktarımı sağlanır ve koşullar kötüleşse bile sistem güvenilir şekilde çalışır.
Zorlu kısım
Elbette her şey bu kadar basit değil. Kızılötesi ışınlar küçük bir alanda büyük miktarda ısı üretir; bu da çok hızlı bir şekilde aşırı ısınmaya yol açabilir. Eğer soğutma sistemleri doğru ayarlanmazsa, waferin kenarları aşırı ısınabilir veya sensörler zarar görebilir. Dengeli bir şekilde ayarlama yapmak gerekiyor; yeterli güçle suyun hızla kuruması sağlanmalı, ancak aşırı ısınma oluşmamalıdır.
Ancak bu denge sağlandığında işler çok daha kolaylaşır. Büyük ve gürültülü blowerların yerine kompakt kızılötesi dizileri kullanılır. Sonuç olarak, amacımız parçayı mümkün olan en hızlı şekilde kurutup ilerletmektir.