Lito zemin üzerinde, her türlü sapmaya müsaade edilemez. Yarım derece kadar bile bir sapma, foto direncin profilini bozar ve böylece CD kontrolünü sağlamak için çaba sarf etmek zorunda kalırsınız. Eğer sert ısıtma kullanılırsa, kenarlarda tortular oluşur veya daha da kötüsü, yapışma gücü azalır ve bu durumu düzeltmek için çok geç kalınır. İhtiyacınız olan şey, hızlıca ısı üreten, istediğiniz yerde sabit kalan ve her döngüde aynı şekilde çalışan bir ısıtma sistemidir.
Arka planda önemli olanlar
Foto direnci kurutan kızılötesi lambayı, kısa dalga boylu NIR ışığı kullanarak tasarladık. Böylece foto direnci hızlı bir şekilde ısınır. Isıtma bölgesindeki homojenlik ±0.1°C seviyesinde tutulur ve tekrarlanabilirlik de yüksek düzeyde sağlanır. Sistem, parçacık üretmeden 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır ve mevcut yarı iletken üretim ekipmanlarının özelliklerine uygun şekilde tasarlanmıştır. Çıkış değerleri, ısınma süresi ve stabilite gibi parametreler önemlidir; çünkü ısıtma işlemi kesin ve belirlenebilir bir şekilde gerçekleşmelidir.
Neden üretimde başarılı oluyor?
Faydalarını ölçebilirsiniz. Hafif ve sert ısıtma yöntemleri saniyeler içinde belirlenen değerlere ulaştığı için, ürünler arasındaki sıcaklık farkları azalır ve üretim süreci daha kontrollü hale gelir. Daha iyi sıcaklık kontrolü, daha az tortu oluşmasını, daha iyi yapışmayı ve daha az yeniden işleme gerekliliğini sağlar. Lamba, gerektiğinde ısı ürettiği için enerji tüketimi azalır. Ayrıca 24/7 çalışmak üzere tasarlanmıştır; saha verileri de uzun süreli çalışmalarda minimum arıza ile çalışabildiğini göstermektedir.
Başlangıçta dikkat edilmesi gerekenler
Kurulum, ekipmanın elektriksel ve mekanik arayüzlerine uyum sağlamakla başlar. Daha sonra ise ısı ayarları, kullanılan foto direncin kimyasal özelliklerine ve substrat yapısına göre ayarlanır. Lamba, ısıtma odası tamamen kapalı olduğunda en iyi performansı gösterir; herhangi bir hava akışı sorunu lokal olarak düzensizliklere neden olur. Profili belirlemek ve ayarları sabitlemek için başlangıçta detaylı testler yapılmalıdır. Bunu yaptıktan sonra, üretim süreci beklenen tutarlılıkla devam eder.