MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

MEMSウエハーを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウエハーを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く取り除く必要がありますが、力を入れすぎると、繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 この最適なバランスを実現するために、私たちは赤外線ヒーターと金メッキされた反射器...