IR照射によってクリーンルームを常に清潔に保つ 半導体製造工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、最も重要なことです。わずかなほこりや汚れでも作業の妨げになります。そのため、私たちは赤外線ランプを利用しています。 このランプの特徴は、電磁波を利用して乾燥処理を行う点です。強制的な熱風を使っ...

なぜ、トロリーヒーターにおいて絶縁性能を重視するのか 半導体製造のクリーンルームでは、「小さな」電気的障害というものは許されません。すべてが非常に重要です。トロリーヒーターを作る際、適切な温度に到達することは半分の仕事に過ぎません。 本当の課題は、加熱要素が電気的に安定しているかどうかを確保するこ...

空気を温めるのをやめよう：より効率的な製造方法 半製品があるクリーンルームについて言えば、実際にはエネルギーの消費が激しい場所です。長年にわたり、数枚のウェーハを所定の温度にするために、部屋全体を温めなければならないという状況が続いてきました。これは無駄なことであり、正直、ちょっと馬鹿げています。...

「ホットウォール」問題との戦いをやめましょう。 半導体製造装置の加熱システムを設計したことがある人なら、その苦労がどれほど大変かわかるでしょう。実際にウエハーを所定の温度まで上げるのは簡単です。本当の問題は、装置の他の部分がオーブンのようになってしまうことを防ぐことです。 一般的な対流型ヒーターは...