クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境下で真空チャンバー内の物質を加熱するときは、少しのミスも許されません。わずかなほこりや化学ガスがあるだけで、作業中のウェーハ全体が無価値になってしまいます。 一般的な加熱素子では、このような条件に耐えられません。彼らは接着...

クリーンルーム内の二酸化炭素排出量を削減する：なぜ真空赤外線加熱が有効なのか 正直言って、半導体製造はエネルギー消費が激しいプロセスです。部品が酸化したり汚染されたりしないようにするためには、真空状態で作業を行わなければならず、その結果、温度制御が非常に困難になります。 多くの場合、抵抗加熱が使わ...