工場乾燥設備のエネルギー診断

清潔を維持する：ファブでの乾燥処理の真実 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこり粒子でも大問題です。ヒーターからわずかな粒子が飛び出してしまえば、そのロットのウェーハは台無しになってしまいます。それほどまでに厳しい環境なのです。 多くの人々は、一般的な金属製のヒーターや安価なセラミッ...