ウェーハ処理装置用温度センサー

なぜ「十分であればいい」というのはウェーハ加工用ツールには適用できないのか？ ウェーハ加工用ツール用のヒーターやセンサーを出荷するとき、「ランダムサンプリング」など意味がありません。それではうまくいきません。 考えてみてください。超高真空環境下でわずかな絶縁不良が起きただけで、大惨事につながります...