高反射率IRシステムによるウェーハ硬化効率の最適化
適切な加熱を実現する:より良いウェーハ硬化の秘訣 半導体ウェーハを硬化させる際の目的はシンプルです。つまり、基板を損なわずに、必要な場所に正確に熱を与えることです。 私たちは赤外線を利用しています。なぜでしょうか?それは、溶剤や燃焼が不要であり、また、今注目されている環境に優しく、鉛を含まない基準...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
では、ウェーハの硬化処理について話しましょう。
多くの人が見落としている秘密があります。それは、ランプだけでは不十分だということです。
たとえ世界で最も高価なIRランプを使っていても、反射器の性能が悪ければ、エネルギーが無駄になってしまいます。その熱のほとんどは装置の筐体に漏れてしまい、それは電力...