テル 東京エレクトロン ヒーターランプ

リソグラフィーの現場での実情 ソフトベイクがわずかに度数がずれるだけで、ライン幅の変動が現れることを知っています。それは歩留まりに影響を与えます。プロセスカードの仕様に正確に、毎回同じ熱が必要です。TELのヒータランプは、その一貫性を提供するように設計されています。 内部で重要な要素 私たちは、短...