感光性樹脂用の最適な赤外線ランプ

リソグラフィフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる熱処理ではなく、寸法管理の工程である。ソフトベークの温度が1℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルに影響が表れる。当社はこの現実を踏まえ、フォトレジスト用赤外線ランプを設計し、ウェハレベルで±0.1℃の...