ウェーハの汚染を未然に防ぐために 半導体製造の世界では、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 高負荷の状態でクォーツ管が破裂したと想像してみてください。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度でもそうな...

では、ウェーハの硬化処理について話しましょう。 多くの人が見落としている秘密があります。それは、ランプだけでは不十分だということです。 たとえ世界で最も高価なIRランプを使っていても、反射器の性能が悪ければ、エネルギーが無駄になってしまいます。その熱のほとんどは装置の筐体に漏れてしまい、それは電力...