適切な加熱を実現する：より良いウェーハ硬化の秘訣 半導体ウェーハを硬化させる際の目的はシンプルです。つまり、基板を損なわずに、必要な場所に正確に熱を与えることです。 私たちは赤外線を利用しています。なぜでしょうか？それは、溶剤や燃焼が不要であり、また、今注目されている環境に優しく、鉛を含まない基準...

熱を無駄にしないで：アルミニウム反射板の真実 スマートな製造現場では、熱がすべてです。しかし、IRランプだけに注目していては、本来の効果を半分しか得られません。 ランプをエンジンと考えると、アルミニウム反射板はステアリングホイールのようなものです。適切な反射板がなければ、放射されたエネルギーの多く...

ウェーハの汚染を未然に防ぐために 半導体製造の世界では、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 高負荷の状態でクォーツ管が破裂したと想像してみてください。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度でもそうな...

では、ウェーハの硬化処理について話しましょう。 多くの人が見落としている秘密があります。それは、ランプだけでは不十分だということです。 たとえ世界で最も高価なIRランプを使っていても、反射器の性能が悪ければ、エネルギーが無駄になってしまいます。その熱のほとんどは装置の筐体に漏れてしまい、それは電力...