はじめに 実を言うと、私たちは単に「また一つのランプ」を作るつもりはありませんでした。このMattson RTP用のランプは、業界のトップブランド製品に匹敵する性能を持つように設計されています。正直なところ、重要なのはその中に使われている素材です。つまり、彼らが使用しているのと同じ高品質なクォーツ...

ファブ内では、フォトレジストのベイク処理の際に、リソグラフィーサイクル全体の熱的条件が決定されます。もしランプの性能が低下し始めると、ソフトベイクやハードベイク時の温度が不安定になり、数分以内にそのことが分かります。CDのずれが生じ、スカムが発生し、結果として歩留まりが悪化します。私たちは、シフト...