半導体製造装置用スペアパーツ・ヒーター

製造現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェハの線幅が乱れ、多くの不良品が発生してしまいます。温度は単なる変数ではなく、プロセスそのものです。そのため、私たちは半導体製造用の機器用ヒーターを、ソフトベイク、ハードベイク、および後処理の段階でウェハ全体の温度を...