清潔を維持する：ファブでの乾燥処理の真実 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこり粒子でも大問題です。ヒーターからわずかな粒子が飛び出してしまえば、そのロットのウェーハは台無しになってしまいます。それほどまでに厳しい環境なのです。 多くの人々は、一般的な金属製のヒーターや安価なセラミッ...

MEMSウエハーを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウエハーを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く取り除く必要がありますが、力を入れすぎると、繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 この最適なバランスを実現するために、私たちは赤外線ヒーターと金メッキされた反射器...