適切な加熱を実現する：より良いウェーハ硬化の秘訣 半導体ウェーハを硬化させる際の目的はシンプルです。つまり、基板を損なわずに、必要な場所に正確に熱を与えることです。 私たちは赤外線を利用しています。なぜでしょうか？それは、溶剤や燃焼が不要であり、また、今注目されている環境に優しく、鉛を含まない基準...

熱を無駄にしないで：アルミニウム反射板の真実 スマートな製造現場では、熱がすべてです。しかし、IRランプだけに注目していては、本来の効果を半分しか得られません。 ランプをエンジンと考えると、アルミニウム反射板はステアリングホイールのようなものです。適切な反射板がなければ、放射されたエネルギーの多く...

重要な場所により多くの熱を与える：金メッキ加工されたIRランプ バイオセンサーを作成する際には、微妙なバランスを保つ必要があります。ポリマーを硬化させたり、基材を準備するためには十分な熱が必要ですが、熱を過度に与えると、生物学的な層が損傷してしまいます。まさに微妙なバランスが求められます。 ほとん...

もうオーブンを待つのはやめましょう：なぜUHP赤外線ランプが効果的なのか 長い間、ウェーハを加熱するには熱風循環に頼るしかないと思われてきました。しかし問題は、対流には時間がかかることです。つまり、空気が温まるのを待ち、その後、その空気がウェーハを適切な温度まで温めるのをまた待つ必要があります。こ...

バイオセンサーの製造過程で清潔を保つために（ストレスフリーに） もし、クラス100のクリーンルームで作業したことがあるなら、その不安さはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや、ヒーターから出る微小な破片だけで、作成したセンサー全体が無駄になってしまいます。本当に厄介ですし、コストもかかります。でも...

ウェーハの汚染を未然に防ぐために 半導体製造の世界では、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 高負荷の状態でクォーツ管が破裂したと想像してみてください。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度でもそうな...

バイオセンサーを作る際には、温度管理が非常に重要です。硬化や析出の過程で温度が数度でも変動してしまうと、全体の製品が台無しになってしまいます。これは非常に厄介で、コストもかさんでしまいます。 そのため、私たちは高密度の赤外線システムを利用します。対流式オーブンが空気をゆっくり温めるのを待つ代わりに...

実際に重要な場所により多くの熱を送る ウェーハ上にバイオセンサーを作成するとき、熱が正確に表面に当たることが必要です。しかし、一般的な赤外線ランプには問題があります。そのエネルギーの大半が後方に反射したり、あちこちに散らばってしまいます。結果として、機械の筐体を温めるだけの電力が無駄に消費されてし...

IR照射によってクリーンルームを常に清潔に保つ 半導体製造工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、最も重要なことです。わずかなほこりや汚れでも作業の妨げになります。そのため、私たちは赤外線ランプを利用しています。 このランプの特徴は、電磁波を利用して乾燥処理を行う点です。強制的な熱風を使っ...

では、ウェーハの硬化処理について話しましょう。 多くの人が見落としている秘密があります。それは、ランプだけでは不十分だということです。 たとえ世界で最も高価なIRランプを使っていても、反射器の性能が悪ければ、エネルギーが無駄になってしまいます。その熱のほとんどは装置の筐体に漏れてしまい、それは電力...

金メッキされた赤外線ランプを故障させないための対策（そしてウェーハを守るために） 半導体製造工場で作業を行う際、熱が必要です。しかも、その熱は正確に制御される必要があります。ここで役立つのが、金メッキされた短波長赤外線ランプです。私たちは、ごく薄い金の層を使用することで、できるだけ多くの熱エネルギ...

もう、空気を使った加熱方法に頼るのはやめましょう。なぜなら、ゴールドコーティングされたIRランプの方が適しているからです。 もし今でも半導体の精密加工に空気を利用しているのであれば、その非効率さに気づいているはずです。空気は熱を移動させるのが苦手です。そのため、基板が十分に温まるのを待つだけで時間...

なぜ、オゾンフリーの赤外線ランプにおいて絶縁試験が重要なのか もしクリーンルームで働いているか、食品を包装しているのであれば、なぜオゾンフリーの赤外線ランプが最適な選択肢なのか、おそらくすでにご存知でしょう。このランプは185nmの波長の光を除去するため、作業環境にオゾンガスが残ることがありません...

なぜ、クォーツシールドの絶縁試験を重視するのか？ 多くの人は、ファブラムライト内にあるクォーツガラス製のシールドを、単なる断熱材としてしか見ていません。しかし、実際にはそうではありません。このシールドこそが、高電圧の電流が加熱要素から直接機械のシャーシへ流れ込むのを防ぐ唯一のものなのです。 表面に...

なぜ半導体の乾燥において熱風ではなく赤外線を使用するのか もし製造現場で働いたことがあるなら、洗浄後の乾燥作業がいかに大変かをご存知でしょう。長い間、私たちは熱風を利用してきました。しかし正直なところ、これは効率が悪いです。空気が熱を運ぶのを待つ必要があり、時間がかかりすぎます。 そこで私たちは赤...

はじめに 実を言うと、私たちは単に「また一つのランプ」を作るつもりはありませんでした。このMattson RTP用のランプは、業界のトップブランド製品に匹敵する性能を持つように設計されています。正直なところ、重要なのはその中に使われている素材です。つまり、彼らが使用しているのと同じ高品質なクォーツ...

ファブ内では、フォトレジストのベイク処理の際に、リソグラフィーサイクル全体の熱的条件が決定されます。もしランプの性能が低下し始めると、ソフトベイクやハードベイク時の温度が不安定になり、数分以内にそのことが分かります。CDのずれが生じ、スカムが発生し、結果として歩留まりが悪化します。私たちは、シフト...

リソグラフィーの工程においては、わずかなバイアスも許されません。たとえ半度程度のばらつきがあっても、フォトレジストの形状が崩れてしまい、CDの精度を維持するのが難しくなります。一方、過度な加熱を行うと、エッジ部分に不純物が付着したり、接着力が低下したりしてしまいます。これらの問題は、修正が困難なほ...

リソグラフィーの現場での実情 ソフトベイクがわずかに度数がずれるだけで、ライン幅の変動が現れることを知っています。それは歩留まりに影響を与えます。プロセスカードの仕様に正確に、毎回同じ熱が必要です。TELのヒータランプは、その一貫性を提供するように設計されています。 内部で重要な要素 私たちは、短...

リソグラフィフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる熱処理ではなく、寸法管理の工程である。ソフトベークの温度が1℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルに影響が表れる。当社はこの現実を踏まえ、フォトレジスト用赤外線ランプを設計し、ウェハレベルで±0.1℃の...