リソグラフィーの工程においては、わずかなバイアスも許されません。たとえ半度程度のばらつきがあっても、フォトレジストの形状が崩れてしまい、CDの精度を維持するのが難しくなります。一方、過度な加熱を行うと、エッジ部分に不純物が付着したり、接着力が低下したりしてしまいます。これらの問題は、修正が困難なほ...

リソグラフィフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる熱処理ではなく、寸法管理の工程である。ソフトベークの温度が1℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルに影響が表れる。当社はこの現実を踏まえ、フォトレジスト用赤外線ランプを設計し、ウェハレベルで±0.1℃の...