半導体スパッタリングヒーター

ファブの現場では、温度の変動は単なる偏差というだけでなく、製品の品質を低下させる要因となります。スパッタリングチャンバーの位置が少しでもずれてしまうと、薄膜に応力が生じ、厚みに不均一性が生じます。これは直接、リソグラフィーやエッチングの工程に影響を与えます。私たちは、このような不確実性を排除するた...