半導体用グローブボックスでのIRヒーターの利用 もし、依然として熱風循環方式を使っているのであれば、その不便さはご存知でしょう。ヒーターを作動させてから、待つしかありません。実際には、ワークピースを適切な温度にするために、グローブボックス内のあらゆる場所の空気を加熱しているわけです。これは非常に時...

なぜ半導体用グローブボックスで強制送風方式をやめて赤外線加熱に切り替えているのか もし、高度な処理を行う際にグローブボックスが十分に温まるのを待つという経験があれば、そのイライラ感はよくわかるでしょう。 従来の強制送風方式では、チャンバー内のアルゴンや窒素の分子一つひとつを加熱する必要があります。...