グローブボックス用赤外線ヒーター素子

なぜ半導体用グローブボックスで強制送風方式をやめて赤外線加熱に切り替えているのか もし、高度な処理を行う際にグローブボックスが十分に温まるのを待つという経験があれば、そのイライラ感はよくわかるでしょう。 従来の強制送風方式では、チャンバー内のアルゴンや窒素の分子一つひとつを加熱する必要があります。...