クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 大量生産を行う半導体工場では、インフラレッドランプが破損することは、単なる「メンテナンス上の問題」以上の深刻な問題です。それはまさに悪夢そのものです。 石英管が破損すると、ウェーハの表面には微細なガラス片や金属片が飛び散りま...