清潔を維持する：ファブでの乾燥処理の真実 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこり粒子でも大問題です。ヒーターからわずかな粒子が飛び出してしまえば、そのロットのウェーハは台無しになってしまいます。それほどまでに厳しい環境なのです。 多くの人々は、一般的な金属製のヒーターや安価なセラミッ...

機械の内壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、「壁が過度に高温になる」という問題の厄介さを知っているはずです。ウェーハや基板を加熱しようとしても、結局は機械の内部全体が過度に熱くなってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いです。さらに悪いことに、機械の筐体自体が危険...