ウェーハ加熱システムにおける熱放射と安全距離の管理

機械を壊さずにウェーハを加熱する方法：より優れた加熱手段 半導体の製造においては、ウェーハを適切な温度に保つ必要がありますが、同時に高価な機器が溶けてしまうことも避けなければなりません。 一般的なヒーターは、あらゆる方向に熱を放出します。これでは問題です。その「無駄な熱」がチャンバーの壁に吸収され...