クリーンルーム用赤外線ヒーター

「ホットウォール」問題との戦いをやめましょう。 半導体製造装置の加熱システムを設計したことがある人なら、その苦労がどれほど大変かわかるでしょう。実際にウエハーを所定の温度まで上げるのは簡単です。本当の問題は、装置の他の部分がオーブンのようになってしまうことを防ぐことです。 一般的な対流型ヒーターは...