破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 大量生産を行う半導体工場では、インフラレッドランプが破損することは、単なる「メンテナンス上の問題」以上の深刻な問題です。それはまさに悪夢そのものです。 石英管が破損すると、ウェーハの表面には微細なガラス片や金属片が飛び散りま...

なぜ、トロリーヒーターにおいて絶縁性能を重視するのか 半導体製造のクリーンルームでは、「小さな」電気的障害というものは許されません。すべてが非常に重要です。トロリーヒーターを作る際、適切な温度に到達することは半分の仕事に過ぎません。 本当の課題は、加熱要素が電気的に安定しているかどうかを確保するこ...