IR照射によってクリーンルームを常に清潔に保つ
半導体製造工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、最も重要なことです。わずかなほこりや汚れでも作業の妨げになります。そのため、私たちは赤外線ランプを利用しています。
このランプの特徴は、電磁波を利用して乾燥処理を行う点です。強制的な熱風を使ったり、ファンで粒子を周囲に飛ばしたりする必要はありません。この方法なら、ウェーハが傷つくこともありません。
鉛フリー乾燥の秘訣
昔は、化学溶剤や重金属触媒を使って、より低い温度で物質を乾燥させていました。しかし、正直なところ、そういう時代はもう終わりました。それらは有毒であり、今日の「グリーン」基準には合致しません。
一方、赤外線ランプは異なります。材料の分子振動に直接作用します。短波長の赤外線を使用することで、基板の奥深くまで効果的に加熱できます。
熱は製品の内部で発生し、周囲の空気中では発生しません。そのため、有害な添加剤を使わずに、迅速かつ清潔に乾燥させることができます。
エネルギーの節約（そして精神衛生の保護）
対流式オーブンは面倒です。部屋全体を加熱しようとするため、エネルギーの無駄遣いになります。一方、赤外線ランプは逆で、エネルギーを必要な場所、つまりワークピースにだけ集中させます。
すぐに加熱できます。スイッチを入れるだけで、すぐに熱が得られます。温めるのを待つ必要はありません。また、大規模な熱負荷をクリーンルームに送り込まないため、HVACシステムにも負担がかかりません。
高い出力密度を持つため、生産ラインの速度を維持できます。出力を調整して、自分のスピードに合わせることができます。ただし、エネルギーが集中しているため、コンベヤーのタイミングを正確に設定する必要があります。部品が長時間滞在すると、焼けてしまいます。
取り付け方法
これらの装置は、古くて使いにくい従来の加熱装置の簡単な置き換え用として設計されています。
石英製のケースを使用しているため、ガス放出の心配もありません。これにより、環境が無菌状態を保たれます。制御回路に接続するだけで、温度をリアルタイムで確認できます。
最良な点は、可動部品がないことです。壊れるファンも、切れるベルトもありません。ランプの寿命をチェックするだけで大丈夫です。静かで信頼性の高い装置で、邪魔にもなりません。