空気を温めるのをやめよう：より効率的な製造方法
半製品があるクリーンルームについて言えば、実際にはエネルギーの消費が激しい場所です。長年にわたり、数枚のウェーハを所定の温度にするために、部屋全体を温めなければならないという状況が続いてきました。これは無駄なことであり、正直、ちょっと馬鹿げています。
そこで、私たちは赤外線加熱を採用しています。空気全体を温める代わりに、必要な場所、つまりウェーハや部品だけを直接温めます。これは単純なアイデアですが、ウェーハ1枚あたりの電力消費量を大幅に削減できます。
重要な場所だけを温める
赤外線加熱の利点は、空気ではなく放射線を利用する点です。HVACシステムと戦ったり、装置全体の温度差を管理したりする必要がありません。
短波長のランプを使用することで、より深く基板内部を温めることができます。そのおかげで、温度上昇がほぼ瞬時に行われます。そして、加熱サイクルが速いため、装置が無駄に高い出力で動作し続けることもありません。
狭いスペースにも適している
最良の点は、これらのランプが小さなサイズで大きな力を発揮できることです。通常、既存の設備にこれらの装置を取り付けるだけで済み、筐体を分解したり、レイアウトを変更したりする必要はありません。
また、オン/オフの切り替えも迅速です。抵抗加熱器を使うと、目標温度に達した後でも温度が上昇し続ける問題がありますが、このランプではそのようなことは起こりません。
しかし、注意点もあります。
これらのランプは起動すると多くの電流を消費します。ケーブルや電源装置が十分でない場合、生産中にブレーカーが落ちてしまうことがあります。これは避けたい問題なので、事前に仕様をしっかり確認しましょう。
「グリーン」な側面
空気を温めるのをやめて、製品自体を温めるようにすれば、全てが変わります。クリーンルーム内に漏れる熱が少なくなるため、冷却装置もそれほど頑張らなくて済みます。その結果、電気代も削減されます。これは、よりクリーンで効率的な工場運営の方法です。