「ホットウォール」問題との戦いをやめましょう。
半導体製造装置の加熱システムを設計したことがある人なら、その苦労がどれほど大変かわかるでしょう。実際にウエハーを所定の温度まで上げるのは簡単です。本当の問題は、装置の他の部分がオーブンのようになってしまうことを防ぐことです。
一般的な対流型ヒーターは使いづらいです。熱があちこちに散らばってしまいます。すると、高価な内壁が焼けてしまったり、作業員が火傷を負ったり、敏感な電子機器が高温によって機能しなくなったりします。本当に厄介です。
私たちの解決策はこうです。
私たちは短波長の赤外線ランプを使用します。これは、まるで懐中電灯のようなものですが、熱を発生させます。チャンバー内の空気全体を温める代わりに、赤外線はエネルギーを直接対象物に送り込みます。
反射板やランプの形状を工夫することで、そのエネルギーを集中させることができます。そうすれば、エネルギーはワークピースに当たっただけで止まります。キャビネットの壁は視線の範囲外にあるため、冷たいままです。これだけです。
適切な熱管理
クリーンルームで作業する際、速度が最も重要です。短波長の赤外線は、長波長のものよりも深く浸透し、反応も速いので優れています。数秒以内に温度を上げることができます。
しかし、注意が必要です。高密度の赤外線アレイは、狭い領域に大量のエネルギーを放出します。対象物の熱容量が小さい場合、目標温度を超えてしまう可能性があります。そのため、正確なPID制御と迅速に反応するサーモカップルが必要です。
実用的なメリット
最良の点は、面積を多く取る重厚な断熱カバーを使わなくて済むことです。そうすれば、ケースを触っても安全で、全体のサイズも小さくなります。
メンテナンスも簡単です。ランプが壊れたら、交換するだけです。ただし、コネクタがしっかりと接続されていることを確認してください。高電圧環境では放電が起こる可能性がありますからね。