ウェーハの汚染を未然に防ぐために 半導体製造の世界では、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 高負荷の状態でクォーツ管が破裂したと想像してみてください。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度でもそうな...

化学溶液の中でウェーハを加熱する際の安全性の確保 正直に言えば、揮発性で可燃性のある溶剤の中でウェーハを加熱するのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や加熱要素の故障だけで、機械が壊れるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。 そのため、IR加熱ランプの密封方法には細心の注意を払っています。...

はじめに さっそく本題に入りましょう。半導体製造ラインにおいては、時間こそが最も重要な資源です。大型で重い熱風装置が起動するのを待っているだけでは、無駄なコストがかかってしまいます。 そこで、私たちは何か違ったものを作りました。それがセラミック製のエンドキャップ式IR発光体です。これは直接、高強度...