なぜ「十分であればいい」というのはウェーハ加工用ツールには適用できないのか？ ウェーハ加工用ツール用のヒーターやセンサーを出荷するとき、「ランダムサンプリング」など意味がありません。それではうまくいきません。 考えてみてください。超高真空環境下でわずかな絶縁不良が起きただけで、大惨事につながります...

製造現場では、工具の修理は予定に組み込まれていない。むしろ、緊急対応が求められる。コーティング装置やアニールモジュール、ボンドヘッドが故障すると、わずかな時間のロスでも生産効率やスケジュールに影響を与える。不適切な温度で加熱すると、部品が変形したり、焦げたり、粒子が発生してしまい、何日もその問題に...