製造現場では、工具の修理は予定に組み込まれていない。むしろ、緊急対応が求められる。コーティング装置やアニールモジュール、ボンドヘッドが故障すると、わずかな時間のロスでも生産効率やスケジュールに影響を与える。不適切な温度で加熱すると、部品が変形したり、焦げたり、粒子が発生してしまい、何日もその問題に取り組まなければならない。私たちが開発した赤外線ヒーターは、まさにこのような状況に対応するためのものであり、クリーンルームの規則を守りつつ、迅速かつ再現性の高い加熱を実現する。
技術的に重要なのは、温度の制御だ。私たちは、迅速に反応する石英素子を使用して短波赤外線を利用し、温度を厳密に管理している。加熱エリア全体での温度のばらつきは±0.1℃以内であり、設定値の再現性も同じ水準である。これは、金属合金を安定させたり、接着剤を硬化させたりする際に必要な条件だ。これらのヒーターは、クラス1～100のクリーンルーム内で使用され、低ガス放出性の材料や密閉された光学系を用いることで、粒子の発生を可能な限り抑えている。制御はループ式で、校正済みのセンサーと、時間や温度、温度上昇のパターンを記録するインターフェースを備えており、完全なトレーサビリティが確保されている。
工具の修理においては、信頼性の高い加熱が求められる。迅速に温度を上げて処理時間を短縮し、その後はオーバーシュートを防ぎながら安定した温度を維持する必要がある。私たちの赤外線ヒーターは、そうした要求を満たすために設計されており、その結果、再作業の回数が減り、修理にかかる平均時間も短縮される。エネルギー消費量も、ビームが直接当たる部分にのみエネルギーが供給されるため、通常のホットプレートよりも少ない。温度の変動も少なくなり、不良品も減少する。また、熱処理の精度が不安定であるために、緊急用のスペア部品を使う必要もなくなる。
設置時には、取り付けや位置合わせが重要だ。照射範囲はクリーンであっても、ビームの形状は接合部や部品の形状に合致していなければならない。私たちは、一度設定すればそのまま使用できるように、固定具やビームマップデータを提供している。試運転にかかる時間は短いが、それはクリーンルームの規則やEMI、その他の制約を守っている場合に限られる。敏感な表面の場合は、高温状態での処理中は不活性ガスを流して酸化を防ぐ必要がある。