化学溶液の中でウェーハを加熱する際の安全性の確保
正直に言えば、揮発性で可燃性のある溶剤の中でウェーハを加熱するのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や加熱要素の故障だけで、機械が壊れるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。
そのため、IR加熱ランプの密封方法には細心の注意を払っています。
実際の密封方法
単にランプを覆っただけでは不十分です。私たちは、電気的な部分を外部の空気から完全に遮断するための密閉構造を使用しています。
石英製のケースを耐薬品性のあるフランジに直接接続します。なぜでしょうか？それは、腐食性のある蒸気がランプの内部に侵入し、配線を破損させたり、短絡を引き起こしたりするからです。
さらに、端部には特殊な充填剤を使って湿気やガスの侵入を防ぎます。強力な溶剤を使う場合、この密封処理が、数週間以内に機器が壊れるのを防ぐ唯一の手段です。
適切な温度の維持
ここでは精度が最も重要です。適切な温度範囲を維持しなければ、問題が発生します。
私たちのランプは短波放射を利用しています。これにより、熱がウェーハの表面に直接届き、他の化学溶液が沸騰するのを防げます。
また、出力も慎重に調整されています。局所的に過度に高温になると、洗浄剤の化学反応に悪影響を与えます。補足として、高密度のIR出力によってケースが熱くなります。そのため、冷却ファンやヒートシンクが正常に機能し、ケースの温度が化学溶液の発火点以下に保たれるようにする必要があります。
実際の信頼性
これらのランプは、通常の加熱装置と交換可能に設計されています。
最も良い点は、安全性がランプの物理的な構造に組み込まれているため、巨大で重たい防爆室が不要だということです。その結果、設置スペースが節約され、メンテナンスも大幅に簡便になります。
実際、酸性環境下でもこれらのランプは問題なく動作し、常に安定した出力を提供しています。