IRランプによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。
高負荷でウェーハを処理している場合、その恐怖をご存知でしょう。IRランプが壊れてしまうと、単に稼働停止だけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがシリコン上に散乱します。一度壊れてしまうと、作業したウェーハはすべて無駄になってしまいます。
私たちは、そういう事態を防ぐために、コントローラーやランプ装置の設計に多くの時間を費やしてきました。
熱ストレスへの対処
ほとんどのランプは熱衝撃によって壊れます。急激な温度変化に耐えられないのです。
そのため、私たちは単純なオン/オフスイッチを使いません。デジタルコントローラーが温度の上昇・下降を慎重に制御します。電力を調整することで、石英管が急激に膨張しすぎて割れるのを防ぎます。
高純度の融解石英を使用しているのも、熱に強いからです。しかし、物理法則は変わりません。2000ワットの電力を短い管に通すと、管の端が高温になります。これを解決するため、ストレスを分散させるための補強部品を取り付けています。
注意点：冷却ファンがコントローラーの出力と同期しているか確認してください。そうでないと、密封部分が破壊されてしまいます。
清潔さの維持
「二次汚染」やゴミの発生を防ぐため、ランプとウェーハの間に物理的な壁を設けています。すべてを石英やステンレス製の保護ケースの中に入れています。
ランプが壊れても、保護ケースがガラスの破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは傷つかないのです。
また、フェイルセーフ機能も備えています。コントローラーはランプの抵抗値をリアルタイムで監視します。急激な上昇や低下があった場合、つまりフィラメントが切れた場合、システムは即座にその領域の電力を遮断します。これにより、他のランプが次々と壊れるのを防げます。
代償
ただし、このような保護ケースを使うと、IR光の伝達が少し妨げられます。
乾燥処理を正常に行うためには、電力設定を少し上げる必要があります。でも正直、それは小さな代償に過ぎません。10万ドルもするウェーハを、1個のランプの故障で失うよりは、数秒多く時間をかける方が良いでしょう。