MEMSウエハーを破壊することなく乾燥させる方法
MEMSセンサーのウエハーを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く取り除く必要がありますが、力を入れすぎると、繊細な微細構造が破壊されてしまいます。
この最適なバランスを実現するために、私たちは赤外線ヒーターと金メッキされた反射器を組み合わせて使用しています。目的はごく単純です。無駄なエネルギーの消費を防ぎ、すべての光子がウエハーに届くようにすることです。
なぜ金を使うのか？
一般的にはアルミニウム製の反射器が使われますが、問題点があります。アルミニウムは多量の赤外線エネルギーを吸収してしまいます。そのため、私たちは高純度の金を使用します。金は近赤外線を効率的に元の方向に反射できるからです。
しかし、単に反射するだけではありません。金層と正確な放物線形状を組み合わせることで、熱を正確にウエハーに集中させることができます。そうすることで、ライトの電圧を上げる必要がなくなります。これはより効率的な方法です。
エネルギーと熱のバランス
設置時には、速度と安全性の間のバランスを考える必要があります。確かに、高出力のライトは大量生産には適していますが、大量の熱を発生させます。もし筐体の冷却機能が不十分だと、その熱がそのまま残ってしまいます。そうなると、温度調整が難しくなり、ウエハーが変形するリスクがあります。これは避けたい問題です。
スムーズな運用のために
私たちは、これらの装置を迅速に交換できるように設計しました。数時間もラインを停止させるのは望ましくありません。
反射器はライトの軸に正確に対応しているため、ウエハー上に「冷たい場所」ができることはありません。ただし、金はデリケートな素材です。もし工場内に腐食性のある蒸気が多ければ、そのコーティングが劣化してしまいます。その場合は、コーティングを保護するか、定期的にチェックする必要があります。また、清掃する際には注意が必要です。適切な溶剤を使用し、粗い布で拭かないようにしてください。一度表面が傷つくと、効率が低下してしまいます。