もう、クリーンルーム用のカートを待っているだけで時間を無駄にしないでください。 半導体製造ラインでウェハを各工程間で移動させる際、温度を一定に保つために常に苦労していることでしょう。ほとんどの工場では依然として熱風循環方式が使われていますが、正直、これは非効率的です。 強制送風方式では、大量の空気が温まるのを待たなければならず、時間の無駄になります。 赤外線方式の利点はここにあります。 赤外線は空気を乱すことはありません。電磁波を使って直接対象物を加熱します。部屋全体が温まるのを待つのと、太陽光の下に立つのとの違いを想像してみてください。 この技術をカートに搭載すれば、「温まる」までの時間が数分から数秒に短縮されます。部屋全体を温める必要はなく、特定の部分だけを加熱すればよいのです。遅延は完全になくなります。 でも、これは魔法ではありません。 赤外線方式に切り替えるのは、単純にスイッチを押すだけではありません。このヒーターは小さなスペースに大きなパワーを込めているため、設計上は有利ですが、制御装置には負担がかかります。 迅速に反応できるPIDコントローラーが必要です。センサーの反応が遅ければ、温度が上がりすぎてウェハが損傷する可能性があります。これは一度でも起きれば大変なことになります。 しかし、隠れた利点もあります。これらのヒーターは既存のフレームに簡単に取り付けられます。巨大な送風機が不要になるため、振動もなくなります。ウェハの安定性も大幅に向上します。 最大の利点は、時間の節約です。 準備時間が短縮されるため、1シフトあたりに処理できる量が増えます。また、電気代も削減できます。もはや、小さな空間を温めるためにHVACシステムと戦う必要もありません。 これは、より直接的な方法です。ただし、カートの材料が実際に赤外線を吸収できるかを確認してください。そうでなければ、熱がシャーシに跳ね返ってエネルギーが無駄になってしまいます。