半導体用グローブボックスでのIRヒーターの利用 もし、依然として熱風循環方式を使っているのであれば、その不便さはご存知でしょう。ヒーターを作動させてから、待つしかありません。実際には、ワークピースを適切な温度にするために、グローブボックス内のあらゆる場所の空気を加熱しているわけです。これは非常に時間がかかり、非効率的です。 そこで、赤外線（IR）ヒーターを使えば状況が変わります。空気と戦う代わりに、IRヒーターはエネルギーを直接ウェハーに照射します。 「加熱待ち」による時間の無駄をやめよう 空気は悪い熱伝導体です。循環ファンを使うと、実際に作業を始める前に、チャンバーの壁や周囲の空気を温めるのに多くの時間がかかります。これは大きな時間のロスです。 IRヒーターなら、その問題を解決できます。熱の伝達はほぼ瞬時に行われます。高精度な半導体加工を行う私たちにとって、これは大きなメリットです。処理時間が短縮され、また、1時間もチャンバー内に空気を送り続けることで発生するほこりや汚染物質も避けられます。 課題とその対処法 これらのIRヒーターは、狭いグローブボックスの内部に収まるように設計されています。短波または中波のエミッターを使えば、ウェハーにだけ熱を集中させることができます。 ただし、単純に接続しておくだけでは不十分です。IRヒーターは従来の抵抗コイルよりも反応が速いため、PID制御が適切に行われていなければ、目標温度を超えてしまいます。また、ある一点に過度な電力を与えると、熱の集中が起こります。したがって、電力とワークピースまでの距離のバランスを見つける必要があります。 実際に使うためのポイント 対流式システムを置き換えるのは簡単なことではありません。IRヒーターを使用するには、障害物がないことが条件です。何かが邪魔をしていると、熱は目的の場所に届きません。 この問題を解決するために、通常は鏡や多角度アレイを使用します。これにより、影ができず、熱があらゆる方向からウェハーに当たります。 最後に、冷却システムも確認してください。グローブボックス内の空気は冷たく保たれますが、ヒーター自体は大きな負荷を受けます。ハードウェアが壊れないように、しっかりとした放熱装置が必要です。