クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境下で真空チャンバー内の物質を加熱するときは、少しのミスも許されません。わずかなほこりや化学ガスがあるだけで、作業中のウェーハ全体が無価値になってしまいます。 一般的な加熱素子では、このような条件に耐えられません。彼らは接着剤を漏らしたり酸化したりして、結果として汚染物質を基材に付着させてしまいます。そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。 「曇り」対策 ガラスに関して言えば、真空中では不純物が表面に移動して蒸発しやすくなります。もし石英の品質が悪ければ、ワークピースに曇った膜ができてしまいます。 私たちは、高い水酸基（OH）含有量を持つ融合シリカを使用しています。これは技術的な用語かもしれませんが、要するに、高温サイクルが繰り返されてもランプが壊れたりガスを放出したりしないということです。そうすれば、対象物は常に清潔な状態を保たれます。 熱対策 真空環境では、熱を移動させる空気がないため、対処が難しいです。対流がないので、すべては放射によって行われます。 私たちは、短波長の赤外線を出すようにランプを調整しています。これにより、材料の奥深くまで熱が届き、待っている間に温度が上がる心配がありません。とても迅速です。 しかし、注意点もあります。ランプは熱を空気中に放散できないため、端部分が非常に熱くなります。水冷式のフランジの調整が適切でなければ、シールが溶けて漏れが発生する可能性があります。スイッチを入れる前に必ず確認しましょう。 細部にもこだわる 私たちは、製造過程において細部にもこだわります。安価なプラスチックや接着剤は一切使用しません。ランプの接続部分は高純度の金属を使用して溶接されており、フラックスの残留もありません。 また、取り付けもしっかりと行われています。振動によって粒子が発生するのを防ぐためです。 このようにして、生産を止めることなく、必要な熱密度を維持できます。ただし、ウォット数が多ければ多いほど、チャンバーの他の部分が過熱しないように冷却システムがより一層労力を要します。