高純度クォーツIRランプを用いたクラス100クリーンルーム向けの無汚染加熱技術

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境下で真空チャンバー内の物質を加熱するときは、少しのミスも許されません。わずかなほこりや化学ガスがあるだけで、作業中のウェーハ全体が無価値になってしまいます。 一般的な加熱素子では、このような条件に耐えられません。彼らは接着...