クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つ方法
半導体製造の世界では、たった一つのほこり粒や、わずかなガス分子でさえも、ウェハ全体の品質を台無しにしてしまう。本当に厄介です。すべてを正しく行っているのに、わずかな汚れが全てを台無しにしてしまうのです。
多くの場合、問題の原因はヒーターです。一般的なヒーターは、作動温度に達するとすぐにガスを放出したり、粒子を放出したりします。これを防ぐために、高純度の石英製の赤外線ランプと、特別なテフロン（PTFE）絶縁処理が施された配線を組み合わせています。
なぜこれが効果的か
高純度石英の魔法
このランプには合成融合石英が使用されています。これは通常のガラスとは異なり、金属不純物を外部に漏らすことがありません。また、熱に耐えても変形したり膨張したりすることがないのです。最良の点は、このランプが短波長の赤外線を使用していることです。これにより、エネルギーが直接基板上に届き、周囲の空気が加熱されることがありません。これにより、床のほこりが舞い上がって処理エリアに入るのを防げます。
なぜテフロン（PTFE）を使用するのか
もし配線にPVCやシリコン製の被覆を使用すると、赤外線ランプの強烈な熱によって破壊されてしまいます。そうなると、目に見えない化学物質がクリーンルーム内に放出されてしまいます。そのため、私たちはPTFEコーティングされた配線を使用します。これにより、化学的に安定しており、溶けたり、臭いを放ったり、揮発性有機化合物を放出したりすることはありません。つまり、配線が熱に耐えられ、部屋を汚染しないのです。
実際に組み込む際の注意点
これらを半導体ヒーターに取り付けるには、工夫が必要です。配線の配置には注意が必要です。
テフロンは強いですが、完全に無敵というわけではありません。もし配線を赤外線ビームの直撃範囲内や、石英製のケースのすぐ近くに配置すると、絶縁体が徐々に劣化してしまいます。ゆっくりと進行しますが、確実に起こります。
ですから、配線の温度を260℃以下に保つために、ヘイトシールドや十分な余裕を持たせることをお勧めします。また、空気の流れもチェックしてください。冷却システムが電気端子から熱を逃がせていない場合、絶縁体は時間とともに劣化してしまいます。
空気の流れを適切に調整すれば、これらのランプは問題なく動作します。粒子もなく、トラブルもありません。